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          超精密光學(xué)制造與檢測
          
			
          
				2019-12-23
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          　　建立了超精密光學(xué)制造與檢測平臺，具備加工300mm口徑以?xún)雀黝?lèi)光學(xué)玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、錐鏡等透鏡和反射鏡能力，擁有支持完整工藝鏈的高端數控加工設備。突破了一系列超精密光學(xué)制造和檢測關(guān)鍵技術(shù)，平面和球面達到深亞納米精度，非球面達到亞納米精度。 
          

          　　基于深亞納米超高精度檢測及制造技術(shù)，可實(shí)現平面和球面光學(xué)元件：面形精度優(yōu)于0.3nm RMS，表面粗糙度優(yōu)于0.2nm RMS；非球面光學(xué)元件：面形精度優(yōu)于1nm RMS，表面粗糙度優(yōu)于0.3nm RMS。
          

            
          

          

             
          

          　   　球面透鏡                     非球面透鏡                碳化硅反射鏡                  1等平晶 
          
			
          
			
          
				
				
			
          
		
          

		
	



          
    
          
        
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